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MEMS的基础结构及原理
发表:2020/8/31 17:08:31   阅读:4   深圳市欣阳电子有限公司

       MEMS器件一般包括传感器(Sensor)信号处理器(CPU或MCU)和执行器 控制器(Actuator)三部分。传感器用于接受外界的信息,信号处理器对从外部接收的信号进行处理,执行器则接受来自控制器的指令并且做出要求的动作反应。

       为了了解这个MEMS的工作原理,首先需要了解什么是一个机械系统。从标准动力学方程(拉格朗日力学)可以知道,一个机械系统的三个关键元素是质量、阻尼和刚度。其中阻尼也称阻尼系数或阻尼常数。一旦拥有了这三个最基本的元素,就是一个最简单的机械系统了。

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